[发明专利]离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调方法和系统在审

专利信息
申请号: 202010044734.5 申请日: 2020-01-14
公开(公告)号: CN111175989A 公开(公告)日: 2020-05-19
发明(设计)人: 兰硕;武春风;李强;姜永亮;尤俊成;陈升;胡黎明;彭小康;马铭;魏昊波;庞中昊;赵东舸 申请(专利权)人: 湖北航天技术研究院总体设计所
主分类号: G02B27/62 分类号: G02B27/62
代理公司: 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 代理人: 孟欢
地址: 430040 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种离轴三反系统的主镜和三镜共基准的装调方法和系统,装调方法包括:对衍射元件与干涉仪进行对准,以使干涉仪内部射出的测试波前经对准衍射区域反射后,与干涉仪内部的参考波前发生干涉,并在干涉仪的对准区域上形成零条纹;将离轴三反系统的主镜和三镜分别对准主镜定位区域与三镜定位区域,以使干涉仪内部射出的测试波前分别经过主镜定位区域与三镜定位区域透射后,在主镜的第一定位区域和三镜的第二定位区域的边缘分别形成多个定位线;调整主镜和三镜的姿态,以使测试波前经由主镜和三镜反射后,与干涉仪内部的参考波前发生干涉,并分别在主镜区域和三镜区域上形成零条纹。
搜索关键词: 离轴三反 系统 三镜共 基准 方法
【主权项】:
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