[发明专利]用于检查缺陷的方法和装置在审
| 申请号： | 202010036268.6 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111505008A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 李知锡;金种佑 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市中伦律师事务所 11410 | 代理人： | 杨黎峰;王丽 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明示例性实施例的用于检查缺陷的方法从包括反射图案层的检查对象获取分别包括暗图像区域和亮图像区域的透射图像和反射图像。从透射图像和反射图像检测异常区域。当异常区域对应于反射图像和透射图像两者中的暗图像区域时，所述异常区域被确定为非缺陷区域。可以减少将非缺陷产品误认为是有缺陷产品的比率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 缺陷 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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