[发明专利]极小物体的单层化装置在审
| 申请号： | 202010035437.4 | 申请日： | 2020-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111434595A | 公开（公告）日： | 2020-07-21 |
| 发明（设计）人： | 蒲田喜彦 | 申请（专利权）人： | 智仁画像科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G69/04 | 分类号： | B65G69/04;B65G43/08;B29C31/04;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及极小物体的单层化装置。课题在于提供使堆积如山的极小物体单层化的有效的方法。本发明的极小物体的单层化装置(1)设为如下结构，其包括：载置台(2)，其在载置的工件(W)的载置面具有比该工件(W)更小的大量的孔，并且内部设为中空；吸排气机构(3)，其连接于该载置台(2)且使该载置台(2)的内部产生正压或负压；摆动机构(4)，其使载置台(2)摆动；以及控制部，其驱动控制吸排气机构(3)和摆动机构(4)。工件(W)浮起，并且载置台(2)摆动，因此堆积如山的工件(W)平坦化而逐渐成为稳定的一层。 | ||
| 搜索关键词： | 极小 物体 单层 化装 | ||
【主权项】：
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