[发明专利]清洗机构有效
| 申请号： | 202010030608.4 | 申请日： | 2020-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN111438085B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 现王园二郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B1/02;B08B3/02;B24B7/04;B24B7/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供清洗机构，其对板状工件的下表面进行清洗，该清洗机构不利用附着有灰尘的刷对板状工件的下表面进行清洗。该清洗机构(8)对保持单元(14)所保持的板状工件(W)的下表面(Wa)进行清洗，该清洗机构具有：桶(80)，其由底板(800)和侧板(801)形成为凹形状；提供口(81)，其形成于底板的中央，向桶内提供水；以及刷(83)，其使中心与底板的中心一致而配设于桶内，刷(83)的作为毛尖的上表面(83a)处于比侧板(801)的上端面(801a)高规定的距离的位置，因积存于桶(80)内的水的表面张力而比侧板(801)的上端面(801a)隆起的水面将刷(83)覆盖，水在所浸没的作为刷(83)的毛尖的上表面(83a)流动，对刷(83)的毛尖进行清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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