[发明专利]一种太阳能电池退火设备及退火方法在审
| 申请号： | 202010013766.9 | 申请日： | 2020-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN113161443A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李伯平;李渊 | 申请（专利权）人： | 南京华伯新材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 脱雅静;王春伟 |
| 地址： | 210061 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种太阳能电池退火设备及退火方法。退火设备包括：炉体，炉体的内部形成有容纳腔，容纳腔能够容纳太阳能电池片；光源，光源与炉体相连接，能够对太阳能电池片进行照射以进行光注入退火。退火方法包括：采用波长在300nm至4000nm之间的光源照射太阳能电池片0.1‑10min以进行光注入退火。采用本发明所提供的退火设备及退火方法可以解决光致衰减“LID”(Light Induced Degradation)的问题，为保证产品的可靠性提出了新的解决方案，不仅如此，采用本发明的退火方法可以将LID控制在0.5％以内，具备良好的经济效益及推广前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 退火 设备 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
