[发明专利]用于光学测量表面形貌的装置和方法在审
| 申请号： | 202010010880.6 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN111467062A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 优素福·阿缇亚;塔勒·维科尔 | 申请（专利权）人： | 阿莱恩技术有限公司 |
| 主分类号： | A61C9/00 | 分类号： | A61C9/00;G01B11/24;G01B11/30;A61C1/08;A61B5/00;A61B1/247;A61B1/06;A61B1/00 |
| 代理公司： | 北京奉思知识产权代理有限公司 11464 | 代理人： | 邹轶鲛;石红艳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 描述了一种用于确定三维结构的表面形貌的装置。该装置能够包括探头(90)和被配置为输出多个光束(36)的照明单元(28、32、34、38)。在多个实施例中，该装置包括聚光组件(42、44)。聚光组件能够接收多个光束中的各光束并且将光束聚焦于各自的外部焦点。聚光组件能够被构造成使多个光束在变焦组件(224、234)内重叠，以使外部焦点沿着光束的传播方向移动。该装置能够包括：检测器(60)，其具有配置为测量从亮斑返回的多个光束中的各光束的特性的传感元件；和处理器(24)，其连接到检测器，并且被配置为基于测得的特性生成表示结构的形貌的数据。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光学 测量 表面 形貌 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿莱恩技术有限公司，未经阿莱恩技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010010880.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
