[发明专利]药液过滤器滤膜的制备方法及药液过滤器滤膜在审
| 申请号： | 202010010091.2 | 申请日： | 2020-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN111135729A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 蒋开;朱学林 | 申请（专利权）人： | 常州费曼生物科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D71/02 | 分类号： | B01D71/02;B01D67/00 |
| 代理公司： | 常州兴瑞专利代理事务所(普通合伙) 32308 | 代理人： | 肖兴坤 |
| 地址： | 213000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种药液过滤器滤膜的制备方法及药液过滤器滤膜，方法的步骤中包括：在单晶硅的底面进行湿法刻蚀开窗，使单晶硅的底面具有开窗盲孔；采用各向异性刻蚀液对开窗的单晶硅进行刻蚀，使单晶硅底面的盲孔成为底大顶小的锥盲孔；对单晶硅的顶面进行至少一次刻蚀，使锥盲孔的顶部刻蚀通，形成锥滤孔，并通过控制刻蚀深度来控制锥滤孔顶部孔径，当锥滤孔顶部孔径达到设定值时，停止刻蚀，得到药液过滤器滤膜。本发明利用材料和结构的自身刻蚀特性，以及孔的宽度和孔刻蚀深度之间的依赖关系，从而实现纳米滤孔的加工，简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 药液 过滤器 滤膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
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