[发明专利]具有波导和蚀刻连接器的激光图案化适配器有效
| 申请号： | 201980052028.0 | 申请日： | 2019-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN112534322B | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 威普库马·帕特尔;马修·J·特拉韦尔索;阿什利·J·马克尔;乔克·T·博文顿 | 申请（专利权）人： | 思科技术公司 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/136;G02B6/42 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 董越 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过针对给定材料的基板中的光子元件(110)确定对准点；经由根据对准点与光子元件对准的激光器，将蚀刻图案施加到光子元件(110)，以在光子元件中产生图案化区域(113)和未图案化区域(114)，其中施加蚀刻图案针对光子元件的图案化区域(113)改变了给定材料中的化学键，这相对于未图案化区域(114)的反应性提高了给定材料对蚀刻剂的反应性，并且其中图案化区域(113)限定了未图案化区域中的接合特征(111)，该接合特征被配置为与光子集成电路(120)上的配合特征(121)接合；以及经由蚀刻剂从光子元件中去除图案化区域，各种系统和方法可以采用光学组件中的激光图案化来使能光学器件与芯片的对准。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 波导 蚀刻 连接器 激光 图案 适配器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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