[发明专利]蒸气作为光学系统中的保护剂及生命延长剂有效
| 申请号： | 201980051251.3 | 申请日： | 2019-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN112567285B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | D·J·扎雷;E·索托;I-F·吴;J·沃尔什;K·麦克南;J·阿姆斯特朗;C·戴维斯;G·罗斯;D·卡瓦门;B·布尔法因特;A·埃萨尼 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;H01L21/67;H01L21/66;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 环绕光学组件的外壳可与蒸气源连接。所述蒸气源可以从500ppm到15000ppm的蒸气水平将蒸气提供到所述外壳。所述外壳中的蒸气浓度可增加所述外壳中的所述光学组件的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸气 作为 光学系统 中的 保护 生命 延长 | ||
【主权项】：
暂无信息
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