[发明专利]用于气体流量验证的多室变化率系统在审
申请号: | 201980033620.6 | 申请日: | 2019-05-17 |
公开(公告)号: | CN112136027A | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 阿列克谢·V·斯米尔诺夫 | 申请(专利权)人: | 日立金属株式会社 |
主分类号: | G01F25/00 | 分类号: | G01F25/00;G05D7/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了多室变化率流量计系统及其操作方法。该多室变化率流量计系统包括:N个室的集合;用于将气体引入或引出N个室的集合的部件;N个压力传感器,其与N个室之一相对应;以及用于在室之间再分配气体的部件。测量模块耦接至压力传感器,以获得由于气体的再分配而引起的各室中的压力变化率,并基于各室中的压力变化率来计算流入或流出N个室的集合的气体的流量。 | ||
搜索关键词: | 用于 气体 流量 验证 变化 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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