[实用新型]一种稳定刻蚀槽液面的装置

摘要

本实用新型公开了一种稳定刻蚀槽液面的装置，包括挡板，所述挡板顶端开设有波浪状区域，所述波浪状区域在接触液体一侧从下往上设置为斜面。所述挡板底端固定连接有安装板，所述安装板在接触液体一侧从上往下设置为斜平面，所述斜平面上开设有若干凹槽，所述凹槽与刻蚀槽侧壁通过螺丝固定连接。本实用新型通过设置有波浪形端面的挡板并将其安装在刻蚀槽槽体前后方的侧壁上，可以很好的减小刻蚀槽液面波动的情况，而且通过凹槽的配合，可以很好的调节挡板的安装高度，而且不会影响刻蚀槽液面上硅片的传输，达到稳定刻蚀槽液面的目的，解决了现有刻蚀槽液面波动容易导致过刻的问题。