[实用新型]一种用于微电子级精制硫酸生产装置的过滤系统

摘要

本实用新型公开了一种用于微电子级精制硫酸生产装置的过滤系统，包括依次连接在硫酸生产管路上的圆桶状硫酸过滤器和圆桶状SO3气体过滤器，其内部在进料管口下方安装有均流器，均流器下方安装有过滤装置甲，SO3气体过滤器顶部设有SO3气体出口，其内部靠近顶部位置设有过滤装置乙，过滤装置乙下方安装有气体均布器，SO3气体过滤器侧壁上包裹了一层加热套，加热套内壁由上至下沿周螺旋间隔固定有光滑的凸块。该过滤系统操作简单且能提高产品质量。