[实用新型]一种低温气体供应系统有效
| 申请号： | 201921704477.2 | 申请日： | 2019-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN211176297U | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 王俊杰;高诏诏;季伟;郭璐娜;陈六彪;郭嘉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | F17C13/00 | 分类号： | F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17C7/04 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 吕伟盼 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及工业生产供气技术领域，提供一种低温气体供应系统，包括：低温储罐、气化器、缓冲罐和旁通管道，低温储罐的出口与气化器的入口连通，气化器的出口与缓冲罐的下部连通；旁通管道的一端与第一管道连通，旁通管道的另一端与缓冲罐的上部连通；旁通管道上装设有第一流量调节部件，第二管道上装设有第二流量调节部件。本实用新型提供的低温气体供应系统，利用自身的气化器将低温液体汽化为低温气体，同时通过旁通管道引出低温液体对低温气体进行降温，结合第一流量调节部件和第二流量调节部件的流量控制，可实现低温气体的温度和压力的精确控制，同时也能满足低温气体流量精确输出，可间歇供应低温气体，系统操作简单，成本低、能耗少。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 气体 供应 系统 | ||
【主权项】：
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