[实用新型]一种大尺寸单晶圆棒切割装置有效
| 申请号： | 201921209042.0 | 申请日： | 2019-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN210999502U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 匡文军;史彦龙;马洋;高润飞;谷守伟;徐强 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种大尺寸单晶圆棒切割装置，切割室内设有“井”字型金刚线，“井”字型金刚线设置在单晶圆棒一端并与单晶圆棒的端面平行；切割室内壁上设有边皮夹紧装置，边皮夹紧装置包括四个，四个边皮夹紧装置分别对应单晶圆棒切割得到的四个边皮；切割时在单晶圆棒一端通过“井”字型金刚线沿单晶圆棒轴线方向对单晶圆棒进行切割。本实用新型的有益效果是：采用“井”字型金刚线从圆棒端面下刀，金刚线和单晶接触面积较小，线弓也会较小，能够提升硅棒的加工效率；采用分段式切割方式，配合边皮夹具固定切下的边皮，能够有效的降低硅棒崩损的概率，并能够有效提高单晶硅棒的表面质量，提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 单晶圆棒 切割 装置 | ||
【主权项】：
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