[实用新型]一种多晶用石英坩埚有效
申请号: | 201920979439.1 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN210420259U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 王金灵;白平平;周铁军;刘留 | 申请(专利权)人: | 广东先导先进材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李宁 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶用石英坩埚,包括坩埚本体,坩埚本体顶部设置有坩埚口,坩埚本体的侧端上连接有管嘴,管嘴与坩埚本体的内腔连通,且管嘴远离坩埚本体的一端的开口的位置不低于坩埚口,以避免半导体多晶液体从管嘴溢出;在半导体多晶合成过程中,与坩埚本体内腔连通的管嘴有助于半导体溶液内部的气体排出,同时也使液体加快凝固,消除多晶体表面的气孔和坑洼,提高多晶体表面质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 石英 坩埚 | ||
【主权项】:
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