[实用新型]一种内置式晶体生长称重室的气密封结构

摘要

本实用新型公开了一种内置式晶体生长称重室的气密封结构，包括称重室（1）、籽晶光杆（2）以及冷却套（3），所述的称重室（1）的底壁上设置有安装槽，安装槽由第一凹槽（104）和与第一凹槽（104）连接且深度不同的第二凹槽（105）组成，第一凹槽（104）与第一定位平面（301）之间、第二凹槽（105）与第二定位平面（302）之间均采用平面密封。本实用新型采用内置式的电机驱动，冷却套和称重室之间采用平面密封，在旋转和提拉的过程中大大降低了称重室的漏气概率，保证称重室真空度，同时采用调心球轴承并配合不同深浅的凹槽定位，使称重室可以承载一定来自轴向的载荷，确保旋转和提拉的运动稳定性，改善晶体的质量。