[实用新型]一种可拉伸触觉传感器阵列有效
| 申请号： | 201920760665.0 | 申请日： | 2019-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN209727313U | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张旻;李鑫 | 申请（专利权）人： | 清华大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01B7/16 |
| 代理公司： | 44223 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王震宇<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518055 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种可拉伸触觉传感器阵列，包括三大层结构，第一大层结构包括柔性可拉伸基底、形成在柔性可拉伸基底上的可拉伸敏感元件阵列和与可拉伸敏感元件阵列相对应连接设置的第一可拉伸电极阵列，第二大层结构包括键合在第一大层结构上的第二柔性可拉伸介电层和形成在第二柔性可拉伸介电层上的第二可拉伸电极阵列，第三大层结构包括键合在第二大层结构上的第三柔性可拉伸介电层、形成在第三柔性可拉伸介电层上的第三可拉伸电极阵列和覆盖第三可拉伸电极阵列的封装层。该传感器阵列能够在拉伸应变的条件下测量法向压力的大小，该器件的结构紧凑，厚度小，制作工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 拉伸 层结构 电极阵列 介电层 敏感元件阵列 基底 键合 触觉传感器阵列 传感器阵列 拉伸应变 连接设置 制作工艺 测量法 封装层 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种可拉伸触觉传感器阵列，其特征在于,包括第一大层结构、第二大层结构和第三大层结构，所述第一大层结构包括柔性可拉伸基底、形成在所述柔性可拉伸基底上的可拉伸敏感元件阵列和与所述可拉伸敏感元件阵列相对应连接设置的第一可拉伸电极阵列，所述第一大层结构形成可拉伸应变传感器阵列，所述第二大层结构包括键合在所述第一大层结构上的第二柔性可拉伸介电层和形成在所述第二柔性可拉伸介电层上的第二可拉伸电极阵列，所述第三大层结构包括键合在所述第二大层结构上的第三柔性可拉伸介电层、形成在所述第三柔性可拉伸介电层上的第三可拉伸电极阵列和覆盖所述第三可拉伸电极阵列的封装层，所述第二大层结构和所述第三大层结构形成可拉伸压力传感器阵列。/n
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