[实用新型]一种新型低压化学气相沉淀高真空系统有效
| 申请号： | 201920715037.0 | 申请日： | 2019-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN210065917U | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛华旗科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架和机台，所述机组骨架内安装螺杆式干泵，且机组骨架上端面安装罗茨泵，所述罗茨泵通过管道与螺杆式干泵相连接，且罗茨泵上安装真空管道一，所述真空管道一另一端安装压力调节阀，所述压力调节阀另一端安装快抽阀，所述快抽阀另一端安装真空管道二，所述真空管道二另一端连接冷阱出气口，且真空管道二环形侧面上安装慢抽阀，所述冷阱进气口安装抽气法兰，所述机台下端面中部位置安装U型条，且机台下侧设置集灰板，所述集灰板上端面中间位置安装条形板，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：给工艺片的生长提供更好更洁净的本底，机台下侧灰尘清理便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 真空管道 机台 机组骨架 罗茨泵 本实用新型 压力调节阀 集灰板 上端面 干泵 冷阱 进气口 高真空系统 安装螺杆 抽气法兰 环形侧面 灰尘清理 新型低压 一端连接 中部位置 出气口 工艺片 螺杆式 条形板 下端面 沉淀 洁净 生长 | ||
【主权项】：
1.一种新型低压化学气相沉淀高真空系统，包括机组骨架和机台，其特征在于：所述机组骨架内安装螺杆式干泵，且机组骨架上端面安装罗茨泵，所述罗茨泵通过管道与螺杆式干泵相连接，且罗茨泵上安装真空管道一，所述真空管道一另一端安装压力调节阀，所述压力调节阀另一端安装快抽阀，所述快抽阀另一端安装真空管道二，所述真空管道二另一端连接冷阱出气口，且真空管道二环形侧面上安装慢抽阀，所述慢抽阀另一端与真空管道一相连接，所述机台内部安装真空工艺腔，所述冷阱进气口安装抽气法兰，所述抽气法兰与真空工艺腔固定连接，所述机台下端面中部位置安装U型条，且机台下侧设置集灰板，所述集灰板上端面中间位置安装条形板，所述条形板上端安插在U型条内，所述集灰板下端面通过胶水粘贴海绵垫。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
