[实用新型]一种应用于低温成型炉上的新型预热工艺气体进气结构有效
| 申请号： | 201920685384.3 | 申请日： | 2019-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN209658144U | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛华旗科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种应用于低温成型炉上的新型预热工艺气体进气结构，包括螺旋管道、石英管、进气管、支撑管一、支撑管二、支撑管三以及热偶管，螺旋管道套在石英管内部，所述支撑管一、支撑管二以及支撑管三布置在螺旋管道和石英管之间，所述石英管一端设有进气管，进气管与螺旋管道焊接在一起，所述热偶管焊接在石英管的内壁上，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：能够预热通入的工艺气体温度，避免温度相对较低的工艺气体直接接触制品，降低工艺气体通入而引起的温度骤变的影响，提高半成品集成电路、分立器件等制品的产量和合格率，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑管 石英管 螺旋管道 工艺气体 进气管 本实用新型 热偶管 焊接 低温成型 分立器件 进气结构 温度骤变 预热工艺 预热 内壁 套在 半成品 集成电路 合格率 应用 | ||
【主权项】：
1.一种应用于低温成型炉上的新型预热工艺气体进气结构，包括螺旋管道、石英管、进气管、支撑管一、支撑管二、支撑管三以及热偶管，其特征在于：所述螺旋管道套在石英管内部，所述支撑管一、支撑管二以及支撑管三布置在螺旋管道和石英管之间，所述石英管一端设有进气管，进气管与螺旋管道焊接在一起，所述热偶管焊接在石英管的内壁上。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
