[实用新型]晶圆镀钨膜加热器

摘要

本实用新型涉及一种晶圆镀钨膜加热器，其包含一加热盘、一真空装置及一加热装置；加热盘中心处具抽气孔，加热盘的顶面形成有一内环槽、一外环槽、多个内径向槽及多个外径向槽，内环槽环绕抽气孔，外环槽环绕内环槽，外径向槽的两端连通内环槽及外环槽，且外径向槽弧形地延伸；由此，外径向槽因弧形延伸而使的外径向槽的总长度较长，外径向槽两侧延伸形成的有效排气区域因此能够完整覆盖内环槽与外环槽之间的面积，从而使得外加热块与晶圆间的气体可迅速移动进入外径向槽内而被排出，由此加快晶圆吸附于加热平面的速度，以提高产量。

主权项

1.一种晶圆镀钨膜加热器，其特征在于，包含：/n一加热盘，其具有：/n一加热平面，其位于该加热盘的顶面；/n一抽气孔，其贯穿该加热盘的该加热平面及底面；/n一内环槽，其凹设于该加热平面上，且环绕该加热平面的中心及该抽气孔；/n一外环槽，其凹设于该加热平面上，且环绕该加热平面的中心及该内环槽；/n多个内径向槽，其凹设于该加热平面上，且环绕该加热平面的中心间隔设置；所述内径向槽的一端连通该抽气孔，另一端连通该内环槽；/n多个外径向槽，其凹设于该加热平面上，且环绕该加热平面的中心间隔设置；所述外径向槽的一端连通该内环槽，另一端连通该外环槽，且所述外径向槽弧形地延伸；/n多个弹片凹槽，所述弹片凹槽环绕该加热平面间隔设置；/n一真空装置，该真空装置连通该加热盘的该抽气孔；/n一加热装置，其连接该加热盘。/n