[实用新型]一种节能高效型黑硅生产装置

摘要

本实用新型涉及半导体制造技术领域，且公开了一种节能高效型黑硅生产装置，包括箱体、喷雾发生装置、T形管、阀门、喷雾头、挡板、风机、通风管、收集箱、连接管、出料孔、出料滑板、上料滑板、进料孔、缓冲滑板、支撑架、电动伸缩杆、固定桶和黑硅晶片，所述箱体的顶部固定安装有数量为两个且呈对称分布的喷雾发生装置，所述喷雾发生装置的输出端连通有一端贯穿并延伸至箱体内部的T形管。该节能高效型黑硅生产装置，且通过风机对多余的喷雾进行收集，通过通风管和连接管进入到收集箱的内部，在使用喷雾代替全液相的基础上，进一步节约资源，且操作简单，可以实现半自动化生产，增加了生产效率。

主权项

1.一种节能高效型黑硅生产装置，包括箱体(1)、喷雾发生装置(2)、T形管(3)、阀门(4)、喷雾头(5)、挡板(6)、风机(7)、通风管(8)、收集箱(9)、连接管(10)、出料孔(11)、出料滑板(12)、上料滑板(13)、进料孔(14)、缓冲滑板(15)、支撑架(16)、电动伸缩杆(17)、固定桶(18)和黑硅晶片(19)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部固定安装有数量为两个且呈对称分布的喷雾发生装置(2)，所述喷雾发生装置(2)的输出端连通有一端贯穿并延伸至箱体(1)内部的T形管(3)，所述T形管(3)的内部活动安装有阀门(4)，所述T形管(3)的底部固定安装有呈等距离分布的喷雾头(5)，所述箱体(1)的内部固定安装有数量为两个的挡板(6)，所述挡板(6)相对的一侧均固定安装有风机(7)，所述风机(7)的顶部固定安装有一端贯穿并延伸至箱体(1)顶部的通风管(8)，所述箱体(1)的顶部固定安装有数量为两个的收集箱(9)，两个所述通风管(8)分别与两个所述收集箱(9)通过两个所述连接管(10)连通，所述箱体(1)的右侧壁开设有出料孔(11)，所述出料孔(11)的孔内底壁固定安装有出料滑板(12)，所述箱体(1)的左侧壁开设有进料孔(14)，所述进料孔(14)的内底壁固定安装有上料滑板(13)，所述上料滑板(13)和出料滑板(12)相对的一侧固定安装有缓冲滑板(15)，所述支撑架(16)位于箱体(1)的左侧，所述支撑架(16)的顶部固定安装有电动伸缩杆(17)，所述箱体(1)的左侧固定安装有固定桶(18)，所述固定桶(18)的内部重叠放置有黑硅晶片(19)。/n