[实用新型]真空分配模块、真空吸盘及测试分选机

摘要

本实用新型公开了一种集成电路芯片测试用真空分配模块、真空吸盘及测试分选机。真空分配模块包括真空分配仓、真空分配仓盖板及真空分配仓连接板，真空分配仓内设有环形真空室、真空孔道及压缩空气进气孔道，真空分配仓连接板内设有压缩空气出气孔道。真空吸盘上均匀分布真空吸嘴，吸嘴通过真空吸附芯片可以在不同工作站完成相应工作，其中吸嘴上真空的有无通过真空分配模块来进行切换，真空分配模块中通过真空孔道注入真空形成真空仓，空压通过外部电磁阀输入到压缩空气进气孔道，再通过真空分配仓、压缩空气出气孔道以及气管传递到真空吸笔。本实用新型的真空分配模块用于测试分选设备时，能够有效保证芯片的定位精度，提高设备运行效率，降低生产成本。

主权项

1.一种真空分配模块，包括真空分配仓、真空分配仓盖板及真空分配仓连接板，其特征在于，所述真空分配仓内设有环形真空室、真空孔道及若干压缩空气进气孔道；所述环形真空室设于真空分配仓的上表面，开口端由真空分配仓盖板封闭，下端连通若干分支真空孔道，所述若干分支真空孔道的下端延伸至真空分配仓的下表面；所述真空孔道沿真空分配仓径向设置，开口位于真空分配仓的外周面，末端封闭，上端与环形真空室相通；所述压缩空气进气孔道沿真空分配仓径向设置，开口端位于真空分配仓的外周面，末端封闭，上端分别通过一个压缩空气支孔道A与环形真空室相通，下端分别连通一个压缩空气支孔道B，所述压缩空气支孔道B的下端延伸至真空分配仓的下表面；所述压缩空气支孔道B及分支真空孔道数量相等交叉设置，开口位于同一圆周上且沿该圆周均匀分布；真空分配仓连接板内设有若干压缩空气出气孔道，所述压缩空气出气孔道沿真空分配仓连接板径向设置，开口位于真空分配仓连接板的外周面，末端封闭，上端分别连通一个压缩空气支孔道C，压缩空气支孔道C的上端延伸至真空分配仓连接板的上表面，其开口位于同一圆周上且沿该圆周均匀分布；所述压缩空气出气孔道与压缩空气进气孔道一一对应设置，压缩空气支孔道C开口与压缩空气支孔道B的开口一一对应；真空分配仓与真空分配仓盖板固定连接；真空分配仓盖板连接外支架，由外支架限制其转动；真空分配仓连接板连接真空吸盘，在真空吸盘的带动下做360度转动；真空分配仓与真空分配仓连接板转动密封连接。/n