[实用新型]一种石英保温环有效
| 申请号： | 201920164027.2 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN209910389U | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 颜廷福 | 申请（专利权）人： | 青岛福润德微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/00 | 分类号： | F27D1/00;H01L21/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种石英保温环，其包括由石英纤维布形成的外筒环和内筒环，内筒环位于外筒环的空腔内，内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充有石英棉，其中，内筒环由形成外筒环的石英纤维布向外筒环空腔内翻折形成，翻折后两端通过石英纤维线缝制到一起形成环状，内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充的石英棉为层状垒叠，每层石英棉按照相同角度倾斜垒叠。相较于现有产品，本实用新型石英保温环具有更高的结构强度，能够长期保持整体形态不塌陷、不变形，从而确保安装到扩散炉炉口时不会出现局部塌陷或褶皱的问题，且该石英保温环内的石英棉均匀性更好，因而可有效提升炉体保温效果，进一步提升半导体的加工品质。 | ||
| 搜索关键词： | 内筒 外筒 石英棉 石英纤维 保温环 环空腔 石英 本实用新型 填充 塌陷 褶皱 保温效果 角度倾斜 整体形态 不变形 均匀性 扩散炉 提升炉 线缝制 翻折 空腔 炉口 内翻 半导体 加工 | ||
【主权项】：
1.一种石英保温环，其特征在于，包括由石英纤维布形成的外筒环和内筒环，所述内筒环位于外筒环的空腔内，所述内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充有石英棉，其中，所述内筒环由形成外筒环的石英纤维布向外筒环空腔内翻折形成，翻折后两端通过石英纤维线缝制到一起形成环状，所述内筒环空腔内、以及内筒环和外筒环之间的空隙内填充的石英棉为层状垒叠，每层石英棉按照相同角度倾斜垒叠。/n
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