[发明专利]高世代平板显示器用铟镓锌氧化物蚀刻液及其制备方法在审
| 申请号： | 201911403978.1 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111171821A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇;何珂 | 申请（专利权）人： | 江苏中德电子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 江阴市轻舟专利代理事务所(普通合伙) 32380 | 代理人： | 曹键 |
| 地址： | 214400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了高世代平板显示器用铟镓锌氧化物蚀刻液及其制备方法，制备所述高世代平板显示器用铟镓锌氧化物蚀刻液的原料包括按重量份数计算的以下组分磷酸35—65份、硝酸0.5—10份、硫酸1—20份、羧酸0.5—35份、双氧水0.5—8份、磷酸盐0.5—15份、表面活性剂0.1—5份。本发明实施例提供的高世代平板显示器用铟镓锌氧化物蚀刻液及其制备方法，所述蚀刻液利用磷酸盐与它组分配合使用能够有效调整刻蚀速率，避免过刻、角度过大或过小的情况出现，解决目前高世代平板显示器在蚀刻的过程中蚀刻效果不好，影响产品使用的问题。此外，通过添加表面活性剂还能够有效降低液体表面张力，从而进行深孔刻蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 世代 平板 显示 器用 铟镓锌 氧化物 蚀刻 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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