[发明专利]对样本的缺陷检测的方法及其系统有效
| 申请号： | 201911402709.3 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111539908B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 埃拉德·科恩;丹尼斯·西马科夫 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/11;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种对样本的缺陷检测的系统和方法，所述方法包括：对第一管芯的一个或多个部分中的每个执行分区；接收指示在针对第二管芯的一个或多个部分捕获的第二图像上的噪声分布的一个或多个噪声图；在运行时对每个噪声图执行分割，给定噪声图的所述分割包括：计算每个区域的评分，所述给定噪声图与所述区域对准并且每个区域与其中对准的噪声数据相关联，给定区域的所述评分至少基于与所述给定区域相关的所述噪声数据来计算；以及基于所述评分来将每个区域与指示噪声水平的一组预限定的分割标签中的一个分割标签相关联，从而获得一组片段，每个片段对应于与同一分割标签相关联的一个或多个区域。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 缺陷 检测 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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