[发明专利]一种基于抛物线型MMI的超紧凑硅基波导交叉结构有效
| 申请号： | 201911394278.0 | 申请日： | 2019-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN111025470B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;蒋建光;邓鑫宸;牛梦华;车录锋;余辉;杨建义 | 申请（专利权）人： | 浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/125 | 分类号： | G02B6/125;G02B6/12 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于抛物线型MMI的超紧凑硅基波导交叉结构，该结构由形状相同但垂直相交的两支波导组成，其中横支波导(H)由横支输入波导、抛物线型横支MMI和横支输出波导组成，竖支波导(V)由竖支输入波导、抛物线型竖支MMI和竖支输出波导组成。这种结构的特征在于，抛物线型横支MMI和抛物线型竖支MMI都采用相同的两端宽中间窄的抛物线型MMI结构。与现有MMI型波导交叉结构相比，本发明所述结构保持了MMI型波导交叉结构低损耗和低串扰的优势，同时由于MMI具有抛物线型结构，本发明所述结构具有更紧凑的尺寸，可以实现更大规模集成光路的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 抛物线 mmi 紧凑 基波 交叉 结构 | ||
【主权项】：
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