[发明专利]一种AFM设备及其变温装置、变温方法在审
申请号: | 201911275115.0 | 申请日: | 2019-12-12 |
公开(公告)号: | CN110850117A | 公开(公告)日: | 2020-02-28 |
发明(设计)人: | 黄社松;杨威;王凡;刘一君;刘云 | 申请(专利权)人: | 北京飞斯科科技有限公司 |
主分类号: | G01Q60/24 | 分类号: | G01Q60/24 |
代理公司: | 北京信远达知识产权代理有限公司 11304 | 代理人: | 王会会 |
地址: | 100085 北京市海淀区安*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供了一种用于AFM位移台的变温装置,包括:变温系统和样品座,所述变温系统包括:制冷系统;所述用于AFM位移台的变温装置还包括:导热件;所述制冷系统独立于所述样品座设置,且通过所述导热件相连。在本方案中,通过制冷系统独立于样品座的设置,并且采用导热件将制冷系统的冷量传递给样品座,既可实现了制冷系统的分体式工作,大大减轻了测试位移台的实际承重,而且也消除了冷却装置在给TEC部件散热时传递给待测样品的振动,同时也增大了制冷系统的安装空间。本发明还提供了一种应用上述的用于AFM位移台的变温装置的AFM设备,以及应用该AFM设备的变温方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 afm 设备 及其 装置 方法 | ||
【主权项】:
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