[发明专利]基于针尖盲重构的光栅原子力显微镜图像重构方法在审
| 申请号： | 201911231209.8 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN110749751A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 韩国强;李怀东;邹宇;吕路遥;牛弋翔 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | G01Q30/06 | 分类号： | G01Q30/06 |
| 代理公司： | 35100 福州元创专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈明鑫;蔡学俊 |
| 地址： | 350108 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于针尖盲重构的光栅原子力显微镜图像重构方法，包括以下步骤：步骤S1：利用OP玻璃表面或TGZ3光栅作为针尖表征器件来获取AFM针尖形貌的信息；步骤S2:根据得到的AFM针尖形貌信息，利用MATLAB进行尖端盲重构，得到重构的AFM针尖形状；步骤S3:根据AFM测量光栅过程中探针与样品表面的几何关系构建线宽测量模型；步骤S4:获得TGZ3光栅样品实测的表面形貌；步骤S5:根据重构的AFM针尖形状和线宽测量模型，对实测的TGZ3光栅表面形貌进行矫正，得到真实的光栅表面结构。本发明在不改变探针硬件设施的条件下，减小由探头驱动器PZT的非线性，系统的温度漂移和探头磨损引起的测量误差，有效地减少和消除AFM图像的失真，从而获得更精确的AFM图像。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 针尖 重构的 形貌 光栅表面 线宽测量 针尖形状 重构 实测 测量 原子力显微镜图像 图像 探头驱动器 有效地减少 表面形貌 玻璃表面 几何关系 温度漂移 形貌信息 样品表面 硬件设施 中探针 探头 构建 减小 探针 矫正 磨损 失真 | ||
【主权项】：
1.一种基于针尖盲重构的光栅原子力显微镜图像重构方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤S1：利用OP玻璃表面或TGZ3光栅作为针尖表征器件，获取AFM针尖形貌的信息；/n步骤S2:根据得到的AFM针尖形貌信息，利用MATLAB进行尖端盲重构，得到重构的AFM针尖形状；/n步骤S3:根据AFM测量光栅过程中探针与样品表面的几何关系构建线宽测量模型；/n步骤S4:获得TGZ3光栅样品实测的表面形貌；/n步骤S5:根据重构的AFM针尖形状和线宽测量模型，对实测的TGZ3光栅表面形貌进行矫正，得到真实的光栅表面结构。/n
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- 本发明涉及一种基于针尖盲重构的光栅原子力显微镜图像重构方法，包括以下步骤：步骤S1：利用OP玻璃表面或TGZ3光栅作为针尖表征器件来获取AFM针尖形貌的信息；步骤S2:根据得到的AFM针尖形貌信息，利用MATLAB进行尖端盲重构，得到重构的AFM针尖形状；步骤S3:根据AFM测量光栅过程中探针与样品表面的几何关系构建线宽测量模型；步骤S4:获得TGZ3光栅样品实测的表面形貌；步骤S5:根据重构的AFM针尖形状和线宽测量模型，对实测的TGZ3光栅表面形貌进行矫正，得到真实的光栅表面结构。本发明在不改变探针硬件设施的条件下，减小由探头驱动器PZT的非线性，系统的温度漂移和探头磨损引起的测量误差，有效地减少和消除AFM图像的失真，从而获得更精确的AFM图像。
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