[发明专利]一种晶圆存放周转装置有效
| 申请号： | 201911190764.0 | 申请日： | 2019-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111003329B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 林涛;马岗强;杨毓军;徐雪刚;毛朝庆;刘睿强;卢静;秦平;辛邵华;刘启飞;赵文兵;余仕平 | 申请（专利权）人： | 重庆电子工程职业学院 |
| 主分类号： | B65D25/10 | 分类号： | B65D25/10;B65D85/30 |
| 代理公司： | 重庆蕴博君晟知识产权代理事务所(普通合伙) 50223 | 代理人： | 王玉芝 |
| 地址： | 401331 重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆存放周转装置，所述闭合盖板朝向远离所述基座的方向伸出所述放置槽，同时通过所述闭合盖板带动所述旋转齿轮轴向旋转，驱动与所述旋转齿轮固定的所述传动轴转动，所述夹持块通过所述传动轴的驱动旋转，并进入所述闭合盖板的所述齿槽内，直到所述夹持块与所述闭合盖板伸入所述放置槽内部的一端抵接，可将晶圆完全放入所述放置槽内，与所述抵制组件抵接，再通过驱动所述闭合盖板进入所述放置槽，使所述夹持块旋转至与晶圆抵制，对晶圆进行夹持固定，如此能将晶圆完全抵制在所述基座的放置槽内，不会发生位移，避免了晶圆与周围碰撞损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存放 周转 装置 | ||
【主权项】：
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