[发明专利]一种基于三耦合波导的横磁模截止横电模均分的光功分器有效
申请号: | 201911133379.2 | 申请日: | 2019-11-19 |
公开(公告)号: | CN110824614B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 肖金标;陈禹飞 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | G02B6/122 | 分类号: | G02B6/122 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 王安琪 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于三耦合波导的横磁模截止横电模均分的光功分器,由下至上依次为硅基衬底、掩埋氧化层、功分部件和上包层,其中掩埋氧化层生长于硅基衬底的上表面,上包层覆盖掩埋氧化层的上表面,光功分部件水平生长于掩埋氧化层的上表面,并被上包层覆盖。本发明能够大大降低光功分器的插入损耗,提高器件消光比,缩短器件的尺寸,降低器件的制造难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 耦合 波导 横磁模 截止 横电模 均分 光功分器 | ||
【主权项】:
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