[发明专利]用于样品的缺陷检查系统和用于样品的缺陷检查方法在审
| 申请号： | 201911099437.4 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN111175312A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 河成根 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘美华;张军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于样品的缺陷检查系统和用于样品的缺陷检查方法。用于样品的所述缺陷检查系统包括图像传感器和缺陷检查装置。图像传感器被配置为捕获样品的目标图像，其中，样品包括平坦部分和从平坦部分沿第一方向延伸并且具有曲率的弯曲部分。目标图像包括与样品的平坦部分对应的第一区域以及与样品的弯曲部分对应的第二区域。缺陷检查装置被配置为基于目标图像确定样品的缺陷。缺陷检查装置包括被配置为沿第一方向按照调整大小比率放大第二区域的宽度的图像编辑器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 样品 缺陷 检查 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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