[发明专利]一种表面缺陷检测方法及装置有效
| 申请号： | 201911075797.0 | 申请日： | 2019-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN110736751B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 杨朝兴 | 申请（专利权）人： | 合肥御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种表面缺陷检测方法及装置，涉及表面检测技术，表面缺陷检测方法包括：采用显示屏作为发光光源，并使得所述显示屏依次显示多幅亮暗相间图案照射待测物体；收集所述待测物体在所述多幅亮暗相间图案照射下产生的发射光及散射光以获取多幅图像；根据所述多幅图像获取待测物体的表面缺陷；其中，所述亮暗相间图案中的亮图案作为表面缺陷检测的光源，且任意两幅亮暗相间图案中亮图案在显示屏中的位置不同。本发明提供一种表面缺陷检测方法及装置，以获取缺陷对比度增强的图像，提高表面缺陷的检出率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 缺陷 检测 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种表面缺陷检测方法，其特征在于，包括：/n采用显示屏作为发光光源，并使得所述显示屏依次显示多幅亮暗相间图案照射待测物体；/n收集所述待测物体在所述多幅亮暗相间图案照射下产生的反射光及散射光以获取多幅图像；/n根据所述多幅图像获取待测物体的表面缺陷；/n其中，所述亮暗相间图案中的亮图案作为表面缺陷检测的光源，且任意两幅亮暗相间图案中亮图案在显示屏中的位置不同。/n
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