[发明专利]非接触式配流盘平面度检测装置及方法在审

专利信息
申请号: 201910947136.6 申请日: 2019-09-29
公开(公告)号: CN110530302A 公开(公告)日: 2019-12-03
发明(设计)人: 郑莹洁;李东升;蔡晋辉;胡佳成 申请(专利权)人: 中国计量大学
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30;G01B5/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种非接触式配流盘平面度检测装置及方法。本发明通过X向导轨固定在龙门架横梁上,Z向导轨固定在X向导轨滑块上,激光位移传感器固定Z向导轨滑块上,使激光位移传感器可调节至测量最佳距离,且可测量不同高度工件,配流盘置于气浮转台上,移动X向导轨滑块,改变激光位移传感器到中心距离,通过气浮转台旋转测量一周12个点,测量两周后,测量的数据传到电脑上,由应用程序进行误差补偿与最小包容区域法的交叉准则拟合平面,计算得到最终平面度误差值,显示在显示屏上。本发明能够自动完成平面度检测,可获得较多数据,能精确反映被测工件实际表面,且没有测头磨损误差。
搜索关键词: 激光位移传感器 滑块 测量 配流盘 平面度检测装置 最小包容区域法 龙门架横梁 平面度检测 平面度误差 被测工件 非接触式 高度工件 拟合平面 气浮转台 实际表面 误差补偿 旋转测量 应用程序 中心距离 自动完成 最佳距离 可测量 可调节 测头 气浮 显示屏 磨损 移动 电脑
【主权项】:
1.一种非接触式配流盘平面度检测装置,其特征在于:包括移动控制模块、检测模块、实验台及支撑架模块和数据处理及显示模块,所述移动控制模块包括气浮转台控制模块、X向导轨控制模块与Z向导轨控制模块。/n所述龙门架与气浮转台置于大理石台上,所述配流盘置于气浮转台中央,用固定销固定,将X向导轨固定在龙门架上,Z向导轨固定在X向导轨滑块上,Z向导轨随X向导轨滑块滑动,所述激光位移传感器安装在Z向导轨连接板上,通过Z向电机与Z向联轴器,随Z向导轨滑块上下滑动。工控机通过控制运动控制卡控制相应电机,进而控制X向导轨、Z向导轨与气浮转台的运动。/n
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