[发明专利]多线切割统一面型的加工方法在审
| 申请号： | 201910946952.5 | 申请日： | 2019-10-07 |
| 公开（公告）号： | CN110722691A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 余胜军;卢东阳 | 申请（专利权）人： | 江苏澳洋顺昌集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;G01B21/20;G01B21/30;G01N21/88 |
| 代理公司： | 21200 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 温福雪 |
| 地址： | 223001*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多线切割统一面型的加工方法，步骤如下：晶棒检验、粘棒、线切割工艺选择、切割、下片和清洗。本发明的加工方法通过对线切割来回切割的切割能力控制一样，将线切割加工后的面型统一控制为马鞍型，有利于研磨对才产品BOW/WARP的去除和产品统一面型的控制；线切割后产品马鞍状占比85％以上。 | ||
| 搜索关键词： | 面型 切割 线切割 线切割工艺 线切割加工 多线切割 能力控制 统一控制 研磨 马鞍型 马鞍状 晶棒 下片 粘棒 去除 加工 清洗 统一 检验 | ||
【主权项】：
1.一种多线切割统一面型的加工方法，其特征在于，步骤如下：/n(1)晶棒检验：先用X-RAY晶体定向仪检测待加工晶棒的晶向端面，确定晶向端面的晶向在标准范围内；再使用激光笔检测晶棒是否有缺陷，并将缺陷部位画出；/n(2)粘棒：将晶棒用AB胶粘合在多线切割机的工件板上；/n(3)线切割工艺选择：使用线速600-1800m/min，张力使用30-50N，钻石线选用Φ0.25mm，切削液流量使用3000-7000KG/H，根据产品规格设定单片用线量和切割时间；/n(4)切割：将粘好的晶棒按照步骤(3)确定的切割程序进行切割，切割过程中确保切割线弓不得超过7mm，且切割过程中罗拉线网上无跳线；/n(5)下片：将切割后的晶片晶棒按照顺序插入卡塞中；/n(6)清洗：将插好片的卡赛放入超声波清洗机清洗15min后，使用烘箱在65-85℃的温度烘烤15-20min将产品烘干。/n
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