[发明专利]湿度传感器在审
| 申请号： | 201910822375.9 | 申请日： | 2019-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN110873738A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | A·克拉夫琴科;H·弗雷利施;M·格莱美;V·科门科 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;闫昊 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据实施例湿度传感器200包括：支撑元件208，具有绝缘材料；第一和第二电极结构202，204，它们彼此隔开地设置在支撑元件208处；在支撑元件208的第一主表面区域208‑1处且相邻于第一和第二电极结构202，204的湿敏介电层元件206；和在湿敏介电层元件206的第一主表面区域206‑1上的第三电极结构210，使得湿敏介电层元件206设置在第三和第一电极结构210，202之间以及第三和第二电极结构210，204之间。第一和第二电极结构202，204分别设计为用于电容性湿度测量的测量电容器的第一和第二电容器电极202，204，第三电极结构210设计为浮动电极结构。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
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