[发明专利]一种在真空状态下对测温镜片进行更换的装置及其应用在审
| 申请号： | 201910770793.8 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN110528079A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张健;许登基;刘乐乐;杨彦岭;李鹏;陈龙;徐殿翔 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 37232 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) | 代理人： | 韩玉昆<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种在真空状态下对测温镜片进行更换的装置，包括:炉体，所述炉体形成炉体腔室；高温观察窗孔，其与炉体腔室连通；测温镜片，其安装在所述高温观察窗孔上；隔离元件，该隔离元件能够打开或关闭，其关闭时将测温镜片从炉体腔室中隔离出来，形成包含测温镜片的高温观察窗腔室；充排气机构，其与高温观察窗腔室连接。本发明通过设置隔离元件将高温观察窗腔室从炉体腔室中隔离出来，可方便对测温镜片进行更换。本发明还提供了所述装置在碳化硅晶体生长或碳化硅粉料合成过程中实现对测温镜片进行更换的应用。采用本发明装置可完美实现在碳化硅晶体生长或碳化硅粉料合成过程中对测温镜片进行更换，不仅操作简便，且对生产环境影响极小。 | ||
| 搜索关键词： | 镜片 测温 高温观察窗 炉体腔 隔离元件 腔室 碳化硅粉料 碳化硅晶体 合成过程 炉体 隔离 充排气机构 生产环境 真空状态 生长 连通 应用 | ||
【主权项】：
1.一种在真空状态下对测温镜片进行更换的装置，其特征在于，包括:/n炉体，所述炉体形成炉体腔室；/n高温观察窗孔，其与所述炉体腔室连通；/n测温镜片，其安装在所述高温观察窗孔上；/n隔离元件，所述隔离元件能够打开或关闭，所述隔离元件关闭时将测温镜片从炉体腔室中隔离出来，形成包含测温镜片的高温观察窗腔室；/n充排气机构，其与所述高温观察窗腔室连接。/n
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