[发明专利]一种铜背板水路的电镀防护装置及方法在审
| 申请号： | 201910689301.2 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN110284169A | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 张科;陈钦忠;叶开满;池铭浩 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/00 | 分类号： | C25D7/00;C25D5/34;C25D17/02;C25D17/00;C25D21/10;C25D3/46 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王术娜 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种铜背板水路的电镀防护装置及方法，属于靶材制备技术领域，本发明提供的铜背板水路的电镀防护装置，包括铜背板、外水路管道，镀液槽和直流电源；所述铜背板内设置有铜背板水路，所述铜背板水路通过外水路管道与镀液槽相连形成循环水路系统；所述外水路管道上设置有循环水泵；所述镀液槽中设置有阳极，所述阳极与直流电源正极相连，所述铜背板与直流电源负极相连，形成电镀系统。本发明提供的电镀防护装置及方法能够在铜背板水路表面快速制备镀层，同时提高铜背板的抗氧化性能和冷却性能。 | ||
| 搜索关键词： | 铜背板 水路 防护装置 电镀 水路管道 镀液槽 阳极 循环水路系统 直流电源负极 直流电源正极 制备技术领域 抗氧化性能 电镀系统 快速制备 冷却性能 循环水泵 直流电源 靶材 镀层 | ||
【主权项】：
1.一种铜背板水路的电镀防护装置，其特征在于，包括铜背板、外水路管道，镀液槽和直流电源；所述铜背板内设置有铜背板水路，所述铜背板水路通过外水路管道与镀液槽相连形成循环水路系统；所述外水路管道上连接有循环水泵；所述镀液槽中设置有阳极和镀液，所述阳极与直流电源正极相连，所述铜背板与直流电源负极相连，形成电镀系统。
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