[发明专利]一种用于晶片被银工艺的装卸设备在审

专利信息
申请号: 201910664382.0 申请日: 2019-07-23
公开(公告)号: CN110417372A 公开(公告)日: 2019-11-05
发明(设计)人: 喻信东 申请(专利权)人: 湖北泰晶电子科技股份有限公司
主分类号: H03H3/02 分类号: H03H3/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 441300 *** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种用于晶片被银工艺的装卸设备,包括机架和被银板组合,被银板组合包括从上至下依此叠放的上电极片、定位片、下电极片和底板,被银板组合的底板底面上设置有磁铁空位,被银板组合底部设置有磁性载盘,磁性载盘上平面固定有与磁铁空位配合的磁铁柱,机架包括两侧的立柱,立柱间从上至下设置有真空吸嘴移动平面、被银板固定平面、磁性载盘卸载平面,真空吸嘴移动平面上设置有真空吸嘴,被银板固定平面用于放置被银板组合和磁性载盘,磁性载盘卸载平面上设置有用于夹持磁性载盘的卡具。
搜索关键词: 被银 载盘 真空吸嘴 装卸设备 底板 被银工艺 从上至下 移动平面 板固定 磁铁 空位 晶片 立柱 卸载 下电极片 磁铁柱 电极片 定位片 上平面 叠放 夹持 配合
【主权项】:
1.一种用于晶片被银工艺的装卸设备,包括机架(1)和被银板组合(2),所述被银板组合(2)包括从上至下依此叠放的上电极片(21)、定位片(22)、下电极片(23)和底板(24),上电极片(21)、定位片(22)、下电极片(23)和底板为方形板,所述定位片(22)用于放置晶片,其特征在于:所述被银板组合(2)的底板(24)底面上设置有磁铁空位(25),磁铁空位(25)呈条形凹槽状,被银板组合(2)底部设置有磁性载盘(3),磁性载盘(3)上平面固定有与磁铁空位(25)配合的磁铁柱(31),机架(1)包括两侧的立柱(11),立柱(11)间从上至下设置有真空吸嘴移动平面(4)、被银板固定平面(5)、磁性载盘卸载平面(6),三个平面两侧均通过滑动套筒(7)连接在两侧立柱(11)上,真空吸嘴移动平面(4)上设置有真空吸嘴(41),被银板固定平面(5)用于放置被银板组合(2)和磁性载盘(3),所述磁性载盘(3)四个角上设置有方形缺口(32),被银板固定平面(5)呈方形镂空状,被银板固定平面(5)与方形缺口(32)对应处设置有与方形缺口(32)形状配合的方形挡板(51),磁性载盘卸载平面(6)上设置有用于夹持磁性载盘(3)的卡具(61)。
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