[发明专利]具有流量分配器的蒸气递送容器

摘要

本发明公开了化学前体容器。所述容器包括器皿和限定内部容积的盖、进口导管、出口导管和定位在器皿内部并与进口导管流体流连通的流量分配器。所述流量分配器具有环形形状且包括分配器底板，所述分配器底板具有在其中形成的、用于经过其排出载气的多个孔。所述流量分配器包括内环形壁，所述内环形壁限定所述流量分配器中的通道口，所述通道口允许流体从所述器皿的所述内部容积通过所述流量分配器流到所述出口导管。

主权项

1.一种用于将化学前体递送到加工设备的容器，所述容器包括：/n器皿，所述器皿包括器皿底板、从所述底板延伸到上器皿边缘的器皿侧壁、以及横跨从所述器皿的中心轴线到所述上器皿边缘的径向距离的盖，所述器皿底板、所述器皿侧壁和所述器皿的盖限定所述器皿中的内部容积，所述器皿具有外表面和内表面；/n进口导管，所述进口导管从所述器皿的所述外表面延伸通过所述器皿到所述器皿的所述内表面；/n流量分配器，所述流量分配器位于所述器皿内部并与所述进口导管流体流连通，所述流量分配器包括至少一个导管，所述导管具有在其中形成的、用于将气体从所述进口导管排出到所述器皿中的多个孔；和/n出口导管，所述出口导管与所述器皿的所述内部容积流体流连通，/n其中所述流量分配器包括分配器底板、分配器顶板、从所述分配器底板的外周边延伸到所述分配器顶板的外周边的外分配器侧壁、以及从所述分配器底板的内周边延伸到所述分配器顶板的内周边的内分配器侧壁，所述分配器底板和所述分配器顶板分别从其内周边横跨到其外周边；和/n其中所述内分配器侧壁在所述流量分配器中限定通道口，所述通道口允许流体从所述器皿的所述内部容积通过所述流量分配器流到所述出口导管。/n