[发明专利]一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置在审
| 申请号： | 201910608452.0 | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110205680A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 徐硕;熊志宏 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人： | 叶春娜 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，包括扩散炉炉管，所述扩散炉炉管连接有主回充管，所述主回充管远离扩散炉炉管一端依次连接有主气动阀和主流量计，所述主回充管上插接有辅回充管，所述辅回充管远离主回充管一端依次连接有辅气动阀和浮子流量计，所述辅回充管和辅气动阀之间设置有连接头，所述内腔一侧侧壁开设有出气口，且内腔远离出气口一侧侧壁开设有四个进气口。本发明的辅回充管可以通过连接头的使用，同时增加多路调节管同时进行氮气回充，从而使产能得到进一步提升，最后经统计，增加辅回充管进行调节后每12小时产能能够提升1847片，实用效果非常好。 | ||
| 搜索关键词： | 产能 氮气 扩散炉 气动阀 炉管 流量装置 依次连接 出气口 连接头 侧壁 内腔 进气口 浮子流量计 扩散 实用效果 主流量计 插接 多路 统计 | ||
【主权项】：
1.一种提高低压扩散产能的增加氮气回充流量装置，包括扩散炉炉管(1)，所述扩散炉炉管(1)连接有主回充管(2)，所述主回充管(2)远离扩散炉炉管(1)一端依次连接有主气动阀(3)和主流量计(4)，其特征在于：所述主回充管(2)上插接有辅回充管(5)，所述辅回充管(5)远离主回充管(2)一端依次连接有辅气动阀(6)和浮子流量计(7)。
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