[发明专利]一种用于定位裸片内部损伤点的去除层次方法在审
| 申请号： | 201910598812.3 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN112179915A | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 唐文亮;任轩;宋定军;冉红锋;张俭 | 申请（专利权）人： | 深圳长城开发科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人： | 郭伟刚 |
| 地址： | 518109 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于定位裸片内部损伤点的去除层次方法，所述去除层次方法包括如下步骤：手动研磨裸片以完全去除所述裸片样品的当前最上层的所述金属层的上方的所述介质层和与当前最上层的所述金属层位于同一高度所述介质层，使得所述裸片样品的当前最上层的所述金属层完全暴露；手动研磨裸片以完全除去所述裸片样品的当前最上层的所述金属层，使得所述裸片样品的紧邻最上层的所述金属层的下侧的所述金属层暴露；使用金相显微镜观察经过处理后处于最上层的所述金属层是否存在缺陷；若发现存在缺陷，则停止研磨；若未发现，则继续研磨，直至观察完全部的所述金属层。如此，可以快速精确地暴露裸片内部由于异常电压或者电流导致的损伤以及内部金属层的形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 定位 内部 损伤 去除 层次 方法 | ||
【主权项】：
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