[发明专利]梯度金刚石/石墨复合自润滑减磨工程陶瓷涂层及制法

摘要

一种梯度金刚石/石墨复合自润滑减磨工程陶瓷涂层及制法，属于全陶瓷轴承自润滑耐磨涂层领域。涂层由工程陶瓷基底表面向外依次为多级尺寸递进金刚石涂层和多层石墨涂层；在每级尺寸递进金刚石涂层中包括若干层微米晶金刚石涂层、若干层亚微米晶金刚石涂层、若干层纳米晶金刚石涂层；其相邻金刚石涂层中的金刚石的晶粒粒径由工程陶瓷基底表面向外呈现阶梯式减小变化。其采用热丝化学气相沉积法制备。该涂层呈现一级阶梯变化或多级梯度变化的微米/亚微米/纳米金刚石/石墨涂层，提升涂层内部韧性和表面硬度，增强石墨与金刚石涂层、金刚石涂层与工程陶瓷基底的结合强度。在极限工况下耐用性好，自润滑性能稳定。

主权项

1.一种梯度金刚石/石墨复合自润滑减磨工程陶瓷涂层，其特征在于，该梯度金刚石/石墨复合自润滑减磨工程陶瓷涂层由工程陶瓷基底表面向外依次为多级尺寸递进金刚石涂层和多层石墨涂层；所述的多级为≥1级，多层为≥1层；其中，多级尺寸递进金刚石涂层中，每级尺寸递进金刚石涂层，包括若干层微米晶金刚石涂层、若干层亚微米晶金刚石涂层、若干层纳米晶金刚石涂层；所述的若干层，层数≥1层；其中，每级尺寸递进金刚石涂层中，相邻金刚石涂层中的金刚石的晶粒粒径由工程陶瓷基底表面向外呈现阶梯式减小变化。