[发明专利]光学波前量测系统及光学波前量测方法有效
| 申请号： | 201910575674.7 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110231149B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 吴承勳;邱健荣 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/04;G01M3/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种光学波前量测系统和方法，应用于光学波前检测领域。光学波前量测系统包括承载装置、波前量测装置及温湿度装置，所述承载装置用于定位待测液态光学元件，所述波前量测装置用于检测通过所述液态光学元件的波前信息，所述温湿度装置用于调节所述液态光学元件所处环境的温度至预设温度，及调节所述液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度，处理器在确定所述液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，控制所述波前量测装置检测通过所述液态光学元件的波前信息，使得波前量测装置能够检测处于特定环境下的液态光学元件的光学性能，提高波前量测系统的量测精度，有利于提高液态光学元件的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 波前量测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学波前量测系统，其特征在于，包括承载装置、波前量测装置、温湿度装置及处理器，所述承载装置用于定位待测液态光学元件，所述波前量测装置用于检测通过所述液态光学元件的波前信息，所述温湿度装置用于调节所述液态光学元件所处环境的温度至预设温度，及调节所述液态光学元件所处环境的湿度至预设湿度，所述处理器与所述波前量测装置及所述温湿度装通信连接，所述处理器用于在确定所述液态光学元件所处环境的温度为预设温度及湿度为预设湿度的情况下，控制所述波前量测装置检测通过所述液态光学元件的波前信息。
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