[发明专利]一种振镜扫描装置及系统

摘要

本发明公开了一种振镜扫描装置及系统。其中，装置包括：第一振镜驱动单元、第一振镜片以及与第一振镜片相对设置的第一反射镜；振镜扫描装置处于初始状态时，第一振镜片与第一反射镜平行；第一振镜驱动单元用于驱动第一振镜片旋转以改变第一振镜片所在平面与第一反射镜所在平面之间的夹角，第一振镜片的旋转轴平行于第一振镜片所在平面；入射光束经振镜扫描装置出射的出射光束的第一偏转角与第一振镜片的偏转角之间的比值为C1；入射光束在第一振镜片上的反射次数为B1；其中，C1＝2^B1；B1≥2。本发明实施例提供的振镜扫描装置及系统，成倍的提高了激光扫描效率。

主权项

1.一种振镜扫描装置，其特征在于，包括：第一振镜驱动单元、第一振镜片以及与所述第一振镜片相对设置的第一反射镜；所述第一反射镜的反射面朝向所述第一振镜片；所述振镜扫描装置处于初始状态时，所述第一振镜片与所述第一反射镜平行；所述第一振镜驱动单元与所述第一振镜片连接，用于驱动所述第一振镜片旋转以改变所述第一振镜片所在平面与所述第一反射镜所在平面之间的夹角，所述第一振镜片的旋转轴平行于所述第一振镜片所在平面；入射光束经所述振镜扫描装置出射的出射光束的第一偏转角与所述第一振镜片的偏转角之间的比值为C1；入射光束在所述第一振镜片上的反射次数为B1；其中，C1＝2^B1；B1≥2；所述入射光束经所述振镜扫描装置出射的出射光束的第一偏转角是指，在垂直于所述第一振镜片的旋转轴的方向上，所述入射光束经所述振镜扫描装置出射的出射光束与所述振镜扫描装置处于初始状态时所述入射光束经所述振镜扫描装置出射的出射光束的角度差；所述第一振镜片的偏转角是指，旋转后的所述第一振镜片所在平面与所述振镜扫描装置处于初始状态时所述第一振镜片所在平面的角度差。