[发明专利]清洗腔室及清洗设备有效
| 申请号： | 201910381668.8 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN111906102B | 公开（公告）日： | 2023-02-14 |
| 发明（设计）人： | 张洪蛟;李爱兵 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/093 | 分类号： | B08B9/093;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人： | 陈亚英 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种清洗腔室及清洗设备，包括腔室本体和设置在腔室本体中的承载装置和喷淋装置，其中，承载装置用于承载待清洗件；喷淋装置设置在承载装置的上方以及周侧，用于向待清洗件喷淋清洗流体。本发明提供的清洗设备及清洗设备能够减少清洗剂的使用量，从而降低清洗成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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