[发明专利]一种真空设备的抽气系统

摘要

本发明公开一种真空设备的抽气系统包括方环形气腔，真空泵，连接部件和控制元件，方环形气腔与真空泵通过连接部件相连接，控制元件对系统的流量和开关进行控制。方环形气腔包括气腔上盖、气腔下托、匀气内衬，气腔上盖与气腔下托上下贴合，并与匀气内衬配合。气腔下托的四角均匀分布有4n个直径相同的孔道，n＝1,2,3……，匀气内衬的周圈均匀分布多个直径相同的细小匀气孔，连接部件包括偶数个硬管道，硬管道的数量是孔道数量的1/2，每个硬管道包括对称设置的两个进气口，分别与两个孔道对应相连接，硬管道的出气口汇聚至一个抽气管道后，与真空泵相连接。本发明的真空设备的抽气系统既提高了抽气速率，又保证了抽气的均匀性。

主权项

1.一种真空设备的抽气系统，其特征在于，包括方环形气腔，真空泵，连接部件和控制元件，所述方环形气腔与所述真空泵通过所述连接部件相连接，所述控制元件对系统的流量和开关进行控制，所述方环形气腔包括气腔上盖、气腔下托、匀气内衬，所述气腔上盖与所述气腔下托上下贴合，并与所述匀气内衬配合，所述气腔下托的四角均匀分布有4n个直径相同的孔道，n＝1,2,3……，所述匀气内衬的周圈均匀分布多个直径相同的细小匀气孔，所述连接部件包括偶数个硬管道，所述硬管道的数量是所述孔道数量的1/2，每个硬管道包括对称设置的两个进气口，分别与两个所述孔道对应相连接，所述硬管道的出气口汇聚至一个抽气管道后，与所述真空泵相连接。