[发明专利]一种掩模版清洗装置在审
| 申请号： | 201910256333.3 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110026372A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 苏庆;崔永鑫;刘成;杨阳;陆鹏 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00;G03F1/82 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘林涛 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及液晶显示面板制造技术领域，具体涉及一种掩模版清洗装置，包括：清洗槽(1)，用于容纳清洗液；载台(2)，包括沿所述清洗槽(1)的深度方向设置的掩模版夹持件(22)，所述掩模版夹持件(22)用于安装掩模版(7)；第一驱动结构(3)，与所述掩模版夹持件(22)连接，用于驱动所述掩模版夹持件(22)在所述清洗槽(1)中做升降运动。本发明提供了一种不同槽体之间的溶液互不交叉，清洗效果好的掩模版清洗装置。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模版 夹持件 清洗装置 清洗槽 液晶显示面板 方向设置 清洗效果 驱动结构 升降运动 清洗液 槽体 载台 容纳 驱动 制造 | ||
【主权项】：
1.一种掩模版清洗装置，其特征在于，包括：清洗槽(1)，用于容纳清洗液；载台(2)，包括沿所述清洗槽(1)的深度方向设置的掩模版夹持件(22)，所述掩模版夹持件(22)用于安装掩模版(7)；第一驱动结构(3)，与所述掩模版夹持件(22)连接，用于驱动所述掩模版夹持件(22)在所述清洗槽(1)中做升降运动。
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