[发明专利]探针卡测试装置在审
申请号: | 201910203533.2 | 申请日: | 2019-03-18 |
公开(公告)号: | CN111722093A | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 李文聪;谢开杰;郑孟杰;李晓刚 | 申请(专利权)人: | 中华精测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/308 | 分类号: | G01R31/308;G01R31/28;G01R1/073 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 柴双;宋洋 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开一种探针卡测试装置,包含测试电路板、信号转接板及探针头。测试电路板包含位于晶片测试区域的第一透光部、及位于信号压制区域的多个金属垫。信号转接板包含位于晶片测试区域的第二透光部。信号转接板的顶面设置有位于晶片测试区域且沿着第二透光部的周缘设置的多个外接垫。信号转接板的底面设置有位于信号压制区域的多个连接垫。探针头的定位座体包含位于晶片测试区域的第三透光部。探针头的多个导电探针穿设定位于定位座体且沿着第三透光部的周缘设置。多个导电探针的一端穿出定位座体而分别抵接于多个外接垫。借此,导电探针的植针作业时间可以被大幅缩减,并且探针卡测试装置的维护困难度可以被大幅降低。 | ||
搜索关键词: | 探针 测试 装置 | ||
【主权项】:
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