[发明专利]一种用于原子力显微镜的长距离精确微纳操作的方法

摘要

本发明涉及微纳科学与技术研究中的精密仪器领域，具体涉及一种用于原子力显微镜的长距离精确微纳操作的方法。本发明提出并实现了用于原子力显微镜的长距离精确微纳操作的方法，来改进原子力显微镜在长距离微纳操作过程中操作目标丢失或者操作误差过大的问题。本发明的直接效果在于能够克服微纳操作过程中操作对象丢失或操作误差过大的问题，实现长距离精确微纳操作。通过快速追踪操作目标位置和精确控制操作目标的位移，直至操作对象与操作目标完全重合。采用本发明方法进行压缩采样的成像时间只要传统原子力显微镜的“栅格”扫描成像时间的1/3，显著提高成像效率及微纳操作的操作效率，也为实现微纳功能结构和微纳机器人的精确装配与制造提供新的方法。

主权项

1.一种用于原子力显微镜的长距离精确微纳操作的方法，其特征在于，具体步骤包括：步骤1：用原子力显微镜采用“栅格”扫描的方式获得包含操作目标和操作对象的全局图像；步骤2：在全局图像上分别识别出操作目标和操作对象的位置；步骤3：计算目标位置与操作对象的相对位置和当前距离D，并与单次操作距离L作比较，如果D＞L，则以操作距离L完成下一步的微纳操作；否则以当前距离D结束最后的操作过程；步骤4：完成当前微纳操作后，基于前一次操作目标的位置及当前操作估算局部成像范围，并用压缩感知原理进行压缩成像，获得当前操作目标所在位置后，重复上述步骤2至步骤4，直至最后一次操作后的操作对象与操作目标完全重合。