[发明专利]一种探针卡、包括探针卡的测试设备、测试方法在审
| 申请号： | 201910048374.3 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN110231501A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 李嘉琳;李玲;吴昊;郑柳;焦倩倩;杨霏;潘艳 | 申请（专利权）人： | 全球能源互联网研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京安博达知识产权代理有限公司 11271 | 代理人： | 徐国文 |
| 地址： | 102209 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种探针卡、包括探针卡的测试设备、测试方法，探针卡包括PCB板、空心针和探针；空心针和所述探针分别与所述PCB板连接，且所述空心针和所述探针相邻设置；空心针用于释放阻燃气体。用于测试时空心针的针尖处会喷射阻燃气体，形成阻燃气体保护氛围，可有效减少测试时半导体芯片打火现象的发生。测试设备包括探针卡、管路和高压测试装置，探针卡的压力腔与管路连接，且探针卡通过接口插入高压测试装置，该测试设备避免半导体芯片测试过程中出现打火现象，保证半导体芯片的安全性，且大大提高了测试精度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针卡 空心针 测试设备 测试 阻燃气体 探针 高压测试装置 半导体芯片 打火现象 半导体芯片测试 管路连接 相邻设置 有效减少 压力腔 针尖 喷射 释放 保证 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其特征在于，包括PCB板、空心针和探针；所述空心针和所述探针分别与所述PCB板连接，且所述空心针和所述探针相邻设置；所述空心针用于喷射阻燃气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于全球能源互联网研究院有限公司，未经全球能源互联网研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910048374.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种FCT探针测试仪器
- 下一篇：一种电波暗室提高暗室性能的新型结构
